金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，广东芯粤能半导体有限公司申请一项名为“刻蚀机台的散热设备及其方法、刻蚀机台”的专利，公开号CN120413402A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供了一种刻蚀机台的散热设备及其方法、刻蚀机台，涉及半导体制造技术领域，本申请的散热设备，包括：检测单元，用于检测所述上盖的温度；喷射装置，设置于所述上盖的上方，用于根据所述上盖的温度，向所述上盖喷射气体，以使所述上盖的温度保持在预设温度范围内；供气装置，与所述喷射装置连接，用于为所述喷射装置供气。本申请的散热设备，在腔体上盖的上方增设有喷射装置，该喷射装置在进行刻蚀加工的过程中，可根据上盖的温度向上盖喷射气体，以使上盖温度保持在预设温度范围内。本申请在不改变刻蚀机台机构的前提下，有效控制了腔体上盖对应区域的温度，稳定了刻蚀速率，降低了改造成本。
天眼查资料显示，广东芯粤能半导体有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45793.1035万人民币。通过天眼查大数据分析，广东芯粤能半导体有限公司参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息46条，此外企业还拥有行政许可99个。
本文源自：金融界
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